Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of III-Nitride Thin Films

Plasma-Assisted Atomic  Layer Deposition of  III-Nitride Thin Films
Доступно в форматах: EPUB | PDF | FB2
Страниц:
Язык: Русский
III-nitride compound semiconductors (AlN, GaN, InN) and their alloys have emerged as versatile and high-performance materials for a wide range of electronic and optoelectronic device applications. Although high quality III-nitride thin films can be grown at high temperatures (>1000 °C) with significant rates, deposition of these films on temperature-sensitive device layers and substrates necessitates the adaptation of low-temperature methods such as atomic layer deposition (ALD). When compared to other low-temperature thin film deposition techniques, ALD stands out with its self-limiting growth mechanism, which enables the deposition of highly uniform and conformal thin films with sub-angstrom thickness control. These unique characteristics make ALD a powerful method especially for depositing films on nanostructured templates, as well as preparing alloy thin films with well-defined compositions. This monograph reports on the development of low-temperature (?200 °C) plasma-assisted ALD processes for III-nitrides, and presents detailed characterization results for the deposited thin films and fabricated nanostructures.

Отзывы


Те, кто смотрел эту страницу, также интересовались:

Japonisme and the Rise of the Modern Art Movement: The Arts of the Meiji Period
Japonisme and the Rise of the Modern Art Movement: The Arts of the Meiji Period
Potentials of Tourism to Poverty Reduction
Potentials of Tourism to Poverty Reduction
Recent Advancements In Prevention Of Dental Caries
Recent Advancements In Prevention Of Dental Caries

Часто задаваемые вопросы

1. Какой формат книги выбрать: PDF, EPUB или FB2?
Тут все зависит от ваших личных предпочтений. На сегодняшний день, каждый из этих типов книг можно открыть как на компьютере, так и на смартфоне или планшете. Все скачанные с нашего сайта книги будут одинаково открываться и выглядеть в любом из этих форматов. Если не знаете что выбрать, то для чтения на компьютере выбирайте PDF, а для смартфона - EPUB.

2. Можно ли книги с вашего сайта читать на смартфоне?
Да. Как для iOS, так и для Android есть много удобных программ для чтения книг.

3. В какой программе открыть файл PDF?
Для открытия файла PDF Вы можете воспользоваться бесплатной программой Acrobat Reader. Она доступна для скачивания на сайте adobe.com