Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of III-Nitride Thin Films
Доступно в форматах: EPUB | PDF | FB2
Страниц:
Язык: Русский
III-nitride compound semiconductors (AlN, GaN, InN) and their alloys have emerged as versatile and high-performance materials for a wide range of electronic and optoelectronic device applications. Although high quality III-nitride thin films can be grown at high temperatures (>1000 °C) with significant rates, deposition of these films on temperature-sensitive device layers and substrates necessitates the adaptation of low-temperature methods such as atomic layer deposition (ALD). When compared to other low-temperature thin film deposition techniques, ALD stands out with its self-limiting growth mechanism, which enables the deposition of highly uniform and conformal thin films with sub-angstrom thickness control. These unique characteristics make ALD a powerful method especially for depositing films on nanostructured templates, as well as preparing alloy thin films with well-defined compositions. This monograph reports on the development of low-temperature (?200 °C) plasma-assisted ALD processes for III-nitrides, and presents detailed characterization results for the deposited thin films and fabricated nanostructures.
Отзывы
Егор, Полтава,
30.10.2017
Давно искал журналы и пособия по электрике и не мог найти нормальных сайтов, где можно было бы скачивать в электронном формате, без долгой регистрации, смс-подтверждений и ожидания очереди "на скачку". В конце концов, после долгих поисков набрел на этот сайт в поисках "Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of III-Nitride Thin Films" и теперь качаю здесь литературу постоянно.
Артём, Пермь,
17.06.2017
Искал один роман, давно друг посоветовал. А тут больничный. Чего делать библиоману? Читать канеш! Но чтоб везде и всюду не носить за собой книгу, я ее у вас скачал - называется Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of III-Nitride Thin Films. Понравилось, что без заморочек. Ввел код перед скачиванием и все. Вас в закладки.
Те, кто смотрел эту страницу, также интересовались:
Часто задаваемые вопросы
1. Какой формат книги выбрать: PDF, EPUB или FB2?
Тут все зависит от ваших личных предпочтений. На сегодняшний день, каждый из этих типов книг можно открыть как
на компьютере, так и на смартфоне или планшете. Все скачанные с нашего сайта книги будут одинаково открываться
и выглядеть в любом из этих форматов. Если не знаете что выбрать, то для чтения на компьютере выбирайте PDF,
а для смартфона - EPUB.
2. Можно ли книги с вашего сайта читать на смартфоне?
Да. Как для iOS, так и для Android есть много удобных программ для чтения книг.
3. В какой программе открыть файл PDF?
Для открытия файла PDF Вы можете воспользоваться бесплатной программой Acrobat Reader. Она доступна для скачивания на сайте adobe.com