Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство, В. Ю. Киреев
Автор: В. Ю. Киреев
Доступно в форматах: EPUB | PDF | FB2
Страниц: 328
Год издания: 2016
Язык: Русский
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
Отзывы
Эльвира, Новокузнецк,
15.08.2017
Искала книгу Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство, подруга насоветовала. А так как читаю в метро или урывками дома, мне надо электронную. Вбила в поисковик название. Пробы скачать на других сайтах заканчивались фразой: «бесплатный отрывок закончился». А к вам как в библиотеку пришла) скачала бесплатно, только смска с кодом на тлф для подтверждения была. Ваш сайт в закладки занесла. Дружить будем?
Маргарита, Пенза,
27.04.2017
Долгое время искала книгу "Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство", обползала, десятки, наверное, сайтов. Книга нашлась здесь. Я счастлива!
Те, кто смотрел эту страницу, также интересовались:
Часто задаваемые вопросы
1. Какой формат книги выбрать: PDF, EPUB или FB2?
Тут все зависит от ваших личных предпочтений. На сегодняшний день, каждый из этих типов книг можно открыть как
на компьютере, так и на смартфоне или планшете. Все скачанные с нашего сайта книги будут одинаково открываться
и выглядеть в любом из этих форматов. Если не знаете что выбрать, то для чтения на компьютере выбирайте PDF,
а для смартфона - EPUB.
2. Можно ли книги с вашего сайта читать на смартфоне?
Да. Как для iOS, так и для Android есть много удобных программ для чтения книг.
3. В какой программе открыть файл PDF?
Для открытия файла PDF Вы можете воспользоваться бесплатной программой Acrobat Reader. Она доступна для скачивания на сайте adobe.com