Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство, В. Ю. Киреев

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство, В. Ю. Киреев
Автор: В. Ю. Киреев
Доступно в форматах: EPUB | PDF | FB2
Страниц: 328
Год издания: 2016
Язык: Русский
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.

Отзывы


Те, кто смотрел эту страницу, также интересовались:

After the Gold Rush – Tarnished Dreams in the Sacramento Valley
After the Gold Rush – Tarnished Dreams in the Sacramento Valley
Украшения из радужных резиночек. Стильные плетеные аксессуары, Колин Дорси
Украшения из радужных резиночек. Стильные плетеные аксессуары, Колин Дорси
Ешь, двигайся, спи. Как повседневные решения влияют на здоровье и долголетие, Том Рат
Ешь, двигайся, спи. Как повседневные решения влияют на здоровье и долголетие, Том Рат

Часто задаваемые вопросы

1. Какой формат книги выбрать: PDF, EPUB или FB2?
Тут все зависит от ваших личных предпочтений. На сегодняшний день, каждый из этих типов книг можно открыть как на компьютере, так и на смартфоне или планшете. Все скачанные с нашего сайта книги будут одинаково открываться и выглядеть в любом из этих форматов. Если не знаете что выбрать, то для чтения на компьютере выбирайте PDF, а для смартфона - EPUB.

2. Можно ли книги с вашего сайта читать на смартфоне?
Да. Как для iOS, так и для Android есть много удобных программ для чтения книг.

3. В какой программе открыть файл PDF?
Для открытия файла PDF Вы можете воспользоваться бесплатной программой Acrobat Reader. Она доступна для скачивания на сайте adobe.com