Дефектообразование в слоистых структурах диоксид кремния-кремний

Работа посвящена установлению закономерностей процессов дефектообразования в слоистых структурах диоксид кремния-кремний и приборных системах на их основе, установлению механизмов влияния дефектов на электрофизические характеристики, моделированию процессов токопереноса в этих структурах и системах. При помощи теоретических и экспериментальных методов современных исследований установлены свойства и предложена топологическая модель реальной структуры приповерхностной области в кремниевых слоистых структурах диоксид кремния-кремний, которая основана на исследовании механизма возникновения пластической деформации на границе раздела, что приводит к образованию дефектов в переходной области кремния. Разработанные физические модели токопереноса в контактах металл-кремний в рамках существующих приближений и модель токопереноса в реальных полевых МОП-системах. Предназначена для ширового круга специалистов в области изучения процессов дефектообразования и студентов соответствующих специальностей.